Search results:


  1. ELECTRICAL PROCESSES IN ENGINEERING AND CHEMISTRY, Vol. 38 (2002), Issue 6, p. 39-42

    Характеристики процесса ионно-химического травления монокристаллического кремния плазмой комбинированного разряда

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 147 downloads

  2. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 37 (2001), Issue 6, p. 80-83

    Высокоскоростное удаление фоторезистивных пленок в послесвечении СВЧ разряда в кислороде

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 42 downloads

  3. EQUIPMENT AND INSTALLATIONS, Vol. 38 (2002), Issue 1, p. 79-82

    Классификация СВЧ плазмотронов для производства изделий электронной техники

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 175 downloads

  4. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 37 (2001), Issue 2, p. 48-81

    Диагностика удаления фоторезиста с поверхности подложек интегральных схем плазмой СВЧ-разряда в кислороде с использованием оптической спектроскопии процесса

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 79 downloads

  5. EQUIPMENT AND INSTALLATIONS, Vol. 37 (2001), Issue 1, p. 74-76

    Малогабаритная СВЧ-плазменная установка с резонатором прямоугольной формы

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 106 downloads

  6. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 37 (2001), Issue 3, p. 72-78

    СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии

    Бордусов С.В.

    Download full-text PDF. 76 downloads

  7. OPERATING EXPERIENCE, Vol. 38 (2002), Issue 5, p. 78-80

    Влияние на фоторезистивный материал СВЧ плазмохимической обработки

    Бордусов С.В., Зубарева М.М., Сушко Н.И.

    Download full-text PDF. 107 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.