Vol. 38 (2002), Issue 4, p. 15-23

ELECTRICAL SURFACE TREATMENT METHODS

Исследование эрозии катода в процессе магнетронного распыления численным методом

Соколов В.Ф., Соколова Ю.А.

Abstract

УДК 537.525


Проанализировано влияние параметров разряда в плоском магнетроне постоянного тока на изменение профиля распыляемой мишени. Численным методом подобраны оптимальные условия с точки зрения равномерной эрозии катода.

 


Correlation between discharge parameters and a profile of the target sputtered in a DC planar magnetron system is studied. With simulation procedure the best conditions are determined for uniform cathode erosion.


 

Download full-text PDF. 106 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.