Vol. 37 (2001), Issue 3, p. 72-78

OPERATING EXPERIENCE

СВЧ-плазменные процессы в микроэлектронной технологии

Бордусов С.В.

Abstract

УДК 621.382.002

 

Представлена информация обзорного характера о применении плазмы СВЧ-разряда в технологических процессах производства изделий микроэлектроники. Указаны области технического применения СВЧ-разрядов, приводятся основные характеристики формируемых под их воздействием структур.

 

 

Microwave plasma discharge applications in manufacturing of microelectronic products are reviewed. Some characteristics and material treatment conditions with microwave discharge technologies are considered.

 

 

Download full-text PDF. 46 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.