Vol. 37 (2001), Issue 5, p. 71-74

ELECTRICAL PROCESSES IN ENGINEERING AND CHEMISTRY

Взаимодействие водородной плазмы с поверхностью различных материалов

Галиаскаров Э.Г., Абрамов В.Л.

Abstract

УДК 537.525

 

Предлагается методика определения вероятности гибели атомов водорода H(2S) на поверхности различных материалов методом эмиссионной спектроскопии. Получены результаты для вероятности гибели атомов в зоне положительного столба для ряда материалов, используемых в электронной промышленности (тлеющий разряд, давление 270 Па).

 

 

The technique of definition of hydrogen atom H(2S) loss probability on a surface of various materials by a radiation spectroscopy method is offered. The results for atom loss probability in a plasma zone (d.c. glow discharge, pressure 270 Pa) for a number of materials used in electronic industry are received.

 

 

Download full-text PDF. 47 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.