Геттерирование золота самарием и гадолинием в кремнии

Abstract

УДК 621.315.592.3:546.28’65

Впервые методами меченых атомов, авторадиографии, изотермической релаксации емкости и тока, измерения проводимости и эффекта Холла установлено эффективное геттерирование золота в кремнии при совместной или последовательной диффузии редкоземельных элементов самария или гадолиния в кремний в приповерхностных слоях кремния, где имеется область высокой концентрации элемента IIIА группы – самария и гадолиния, а также в объеме кремния.

For the first time by methods marked of atoms, autoradiography, isothermal of a relaxation of capacity and current, measurement of conductivity and effect of a Hall established effective a gettering of gold in silicon at joint or consecutive of a diffusion rare-earth of elements of samarium or of gadoli-nium in silicon, in pre-surfaces layers of silicon, where there is an area of high concentration of an element IIIА of group - samarium and of gadolinium, and also in volume of silicon.

Download full-text PDF. 3906 downloads

Menu

Vol. 43 (2007), Issue 3, p. 77-82

Геттерирование золота самарием и гадолинием в кремнии

Abstract