Проблемы получения оксида на кремнии

Сафаров А.С., Шукурова Д.М., Икрaмов А.Х., Арсланова Т.Ж.

Аннотация

УДК 621.382.521

В работе приводятся данные о свойствах сверхтонких пленок диоксида кремния. Показано, что зарядовое состояние на границе кремний – диоксид кремния напрямую зависит от условий окисления.

In this work mentioned about the properties of the overthin layer of the SiO₂. Showed that the chargeable condition at the boundary between Si and SiO₂depends on conditions of the oxidation.

Скачать полнотекстовый PDF. 760 скачиваний

Menu

Том 39 (2003), Номер 4, стр. 84-86

Проблемы получения оксида на кремнии

Аннотация