научный журнал
Электронная обработка материалов
ISSN 0013-5739 (Print) 2345-1718 (Online)
(Surface Engineering and Applied Electrochemistry)

Том 38 (2002), Номер 1, стр. 79-82

ОБОРУДОВАНИЕ И ПРИБОРЫ

Классификация СВЧ плазмотронов для производства изделий электронной техники

Бордусов С.В.


Аннотация

УДК 621.382.002

 

Представлена классификация применяемых в производстве изделий электронной техники СВЧ плазмотронов, выполненная по конструктивно-техническим признакам СВЧ аппликатора. Предлагаемая систематизация технических решений СВЧ плазмотронов будет полезна при проектировании и выборе типа СВЧ плазменного источника для решения определенных технических задач, а также при изучении и анализе работы известных технических решений генераторов плазмы этого типа.

 

 

Classification of microwave plasmatrons used in the processes of electronic technique devices production is presented. It based on constructive peculiarities and technical features of microwave applicators. The proposed classification of microwave plasmatrons will be useful while projecting and chosing the type of microwave plasma source for certain technical purpose and also for studying and examination well–known constructions of that type plasma generators.

 

 

 
 

Скачать полнотекстовый PDF. 228 скачиваний

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.