Vol. 45 (2009), Issue 5, p. 44-47

ELECTRICAL PROCESSES IN ENGINEERING AND CHEMISTRY

Энергетическое распределение ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2 + Ar

Холодков И.В.

Abstract

УДК 537.525\

 

Исследовано влияние состава плазмообразующего газа на энергетическое распределение положительных ионов в прикатодных областях тлеющего разряда в смеси O2+Ar (0–100%) при давлениях газа 1–3 Па и токах разряда 10–30 мА. Обнаружено, что при содержании аргона в смеси более 20% приводит к образованию ионов Ar2+ и смещению максимума функции распределения ионов в сторону больших энергий.

 

The results of investigation of ion energy distribution in cathode region of direct current discharge in O2+Ar (0–100%) mixture are presented at different plasma parameters (1‑3 Pa pressure, 10–30 mA discharge current). It is shown that Ar percentage more than 20% results to ion of Ar2+ formation and shifting distribution maximum to higher energies.

 

Download full-text PDF. 658 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.