Vol. 42 (2006), Issue 4, p. 82-85

OPERATING EXPERIENCE

Расчет пробегов ионов переходных элементов в карбиде кремния

Яркулов У.Я., Арзикулов Э.У.

Abstract

УДК 537.534.9 

 

Получены аппроксимированные выражения для расчета упругих потерь энергии низкоэнергетических тяжелых ионов в твердых телах с использованием потенциала Томаса-Ферми-Фирсова. Найдено, что упругие потери энергии низкоэнергетических ионов непостоянные. С увеличением энергии иона Е они возрастают и при определенной энергии достигают максимальных значений. При дальнейшем увеличении Е упругие потери энергии иона медленно убывают. Упругие потери энергии ионов Mn+ и Co+ рассчитаны для SiC. Вычислены пробеги тяжелых ионов Mn+ и Co+ в SiC в области энергии 10-200 кэВ. Показано, что при низких энергиях (Е ≤ 20 кэВ) пробеги ионов на 30-40% больше пробегов, рассчитанных по теории ЛШШ. С увеличением энергии иона расхождения уменьшаются до 3-7%.

 

In the present paper we obtained approximated expressions for calculation of elastic losses of energy for low–energy heavy ions in solids by using the Thomas–Fermi–Firsov potential. It was revealed that the elastic losses of energy for low–energy ions are not constant. With rising energy E of ion the elastic energy losses increase, and at certain energy they reach maximal value. At further rise of E the elastic energy losses of ion decrease slowly. The elastic energy losses of ions Mn+ and Co+ were calculated for SiC. The ranges of heavy ions (Mn+ and Co+) in SiC were calculated in the energy range 10¸200 keV. It was shown that at low energies (Е ≤ 20 keV) the ranges of ions exceed on 30-40% those determined by the LSS (Linhard–Scharff–Schiott) theory. With rising energy of ion the discrepancy decreases to 3-7%.

 

 

Download full-text PDF. 1007 downloads

Web-Design Web-Development SEO - eJoom Software. All rights reserved.